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                产品名称:HMDS预处理真空烘箱

                产品型号:BD/HMDS-6210

                产品报价:

                产品特点:HMDS预处理真空烘箱
                产品用途:该产品主要用于半导体行业,HMDS预处理系统通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等∞参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与☉硅片的黏附性。

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                BD/HMDS-6210HMDS预处理真空烘箱的详细资▃料:

                 HMDS预处理真空烘箱  

                产品用途:该产品主要用于半导体行业,HMDS预处理系统通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保︼持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光Ψ 刻胶与硅片的黏附性。    

                一、产品规格:

                 型号:BD/HMDS-6090   内形尺寸:450×450×450    

                 型号:BD/HMDS-6210   内形尺寸:560×640×600  

                 

                二、 技术参数:

                 1、控温范围:RT+10~250℃ 

                 2、温度分辨率:0.1℃

                 3、温度波动度:±1℃

                 4、达到Ψ真空度:小于133Pa

                 5、真空度:100Pa~100000Pa

                 6、定时范围:1~9999min

                 7、工作室材料:316L

                 8、样品架:2块、3块

                 9、真空泵:4L/S

                 10、电源电压:220V/50Hz、380V/50Hz三相五线制

                 11、总功率:3000W、4500W

                 

                三、产品特点:

                 1、外壳采用冷轧钢板制造,表面静电喷塑。内胆、样品机、连接管路均采用优质不锈钢316L材料制成;加热器均匀分布在内胆外壁四周,内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。

                 2、箱门闭合松紧能调节,整体成型的◣硅橡胶门封圈,确保箱内高真☆空度。

                 3、HMDS气体密闭式自动吸取添加设计,真空箱密封性能佳,确保HMDS气体无外漏顾虑。

                 

                四、 HMDS预处理系统操作流程:

                 1、首先确定烘箱工作温度;

                 2、预→处理程序为:打开真空泵抽真空,待腔内真牢度达到某一高真空度后,开始充入氮气,充到达到某低真空度后,再次进行抽真空、充入氮气的过程,到达设定的充入氮气次数后,开始保持一段时间,使硅片充分受热,减少硅片表面的水分;

                 3、再次开始抽真空,充入HMDS气体,在到达设定时间后,停止充入HMDS药液,进入保持阶段,使硅㊣ 片充分与HMDS反应;

                 4、当达到设定的保持时间后,再次开始抽真空。充入氮气,完成整个作业过程。

                 

                五、控制系统:

                 1、7.0英寸维ω纶彩色触摸屏,三菱PLC控制器;

                 2、富士微电脑双数显温度PID控制器,控温精确可靠;

                 

                六、保护系统:

                 1、漏电保护;

                 2、超温保护;

                 3、缺液保护;

                              

                七、设备使用条件:

                 1、环境温度:5℃~+28℃(24小时内平均温□ 度≤28℃)

                 2、环境湿度:≤85%R.H

                 3、操作环境需要室内通风良好,机器放置前后左右各80公分不可放置东西;

                 

                八、 HMDS预处理真空烘箱 服务承诺:

                 保修十八个月,免费送货上门,在对该设备安装调试结束后,在用户现场对相关技术人员免费做相应的操作培训,人数不限

                 

                北京中科博达仪器有限公司产品系列: 高温试验箱、低温试验箱、恒温恒湿试验箱、低温恒温试验箱、高低温试验箱、交变高低温试验箱、高低温湿热试验箱、交变高低温湿热试验箱、盐雾腐蚀试验箱、二氧化硫〖试验箱、鼓风干燥箱、高温烘箱、真空干燥←箱、温度冲击试验箱、紫外光老化试验箱、氙弧灯耐】气候试验箱、臭氧老化试验箱、换气老化试验箱、沙尘试验箱、淋雨试↓验箱、摆管淋雨试验设备、滴水试验设备、振动台、振√动试验机、二氧化碳培养箱、霉菌培养箱、热空气消毒箱、低温培养★箱、药品稳定试验箱、防锈油脂试验箱、大型盐雾试验室、大型低温恒温试验室、大型高低温检测试验室。  

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